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供应Aerotech精密气浮平台

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    自1970年Aerotech开始研制*高性能的运动控制产品和精密定位系统,这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备,半导体加工,光子学,数据存储,激光应用,航空和国防,电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展,以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。

Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值,我们的座右铭是:Dedicated to the Science of Motion。

ABL1000气浮平台

1专为高性能校准和装配应用设计

2分辨率达2nm的直线编码器反馈

3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)

4全预加负载气浮导轨(空气轴承)

5低噪音线性放大器

6全部非接触设计

行程≤150mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.05um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

 



ABL1500直线电机平台

1专为高性能扫描和检测应用设计

2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈

3全预加负载气浮导轨(空气轴承)

4大负载高刚性几何特性极好

行程≤500mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.10um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

 



ABL2000气浮平台

1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计

2运动超平滑,速度稳定性突出

3直线编码器或激光干涉仪反馈

 
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